● 实验室主任
● 实验室成员
● 在读学生
● 已毕业学生
工作职责
- 怀柔平台的多腔室磁控溅射系统、多腔室电子束蒸发系统、原子层沉积系统、ICP刻蚀系统(半导体材料)、椭偏仪、膜厚仪等设备的责任工程师
- 负责怀柔平台所有光学测试系统部件维护和保管
- 负责怀柔平台耗材验收和保管工作
简历
- 2014年于兰州大学获得学士学位,2014年-2020年在中科院物理所先后获得工程硕士和理学博士学位,2020年-2022年于中国科学院大学从事博士后研究,现任中科院物理所微加工实验室副主任工程师
科研成果
- 合作发表文章11篇, 2023年入选中国科学院物理研究所“引进国外杰出人才”计划中的“关键技术人才”。