2019年第2期,总第016期

FT-NMT04纳米力学性能测试系统(原位纳米压痕仪)

对材料进行原位的物性表征能够获得最真实有效的信息,目前人们已经开发了多种设备以进行材料光学、电学性能的原位表征,但对材料力学性能准确的原位表征依然存在一定的困难。基于此,瑞士FemtoTools公司最新研发了一款原位纳米压痕仪FT-NMT04,能够充分满足半导体技术、微系统开发、材料科学、微型医学和生物技术等领域的原位力学性能表征的挑战性要求。

FT-NMT04纳米力学性能测试系统是一种多功能原位SEM/FIB纳米压痕仪,能够精确量化微米和纳米级材料的力学行为。作为世界上第一个基于MEMS的纳米压痕仪,FT-NMT04基于获得专利的Femto Tools微电子机械系统(MEMS)技术,这种原位纳米压痕具有无与伦比的分辨率、可重复性和动态响应。FT-NMT04原位纳米压痕仪针对金属、陶瓷、薄膜以及超材料和MEMS等微结构的机械测试进行了优化。此外,通过使用各种附件,FT-NMT04的功能可以扩展到各个研究领域的多样化要求。此外,弯曲器件的连续刚度测量使得能够在微梁的断裂测试期间量化裂缝生长和断裂韧性。

在科研中利用FT-NMT04设备可以快速高效的获取材料以及结构的力学信息,为更准确、更可信的科学研究保驾护航。

相关链接:https://www.femtotools.com/products/ft-nmt04/description