德国LightFab飞秒激光微纳加工系统

近年来3D打印技术已经在科研、工业甚至生活中扮演了极为重要的角色。由于其结构加工中的灵活性，使其在多种三维器件中发挥了不可替代的作用。然而常规3D打印设备通常具有较慢的加工速度以及较低的加工精度，其次，如何实现诸如金属、半导体等多种材料的3D打印也存在一定的困难。

为了解决上述问题，德国LightFab公司生产了一种3D飞秒激光微纳加工系统，该系统利用激光直接写入透明材料，从而实现极快速精确3D结构的制备。LightFab 3D打印机旨在通过附带的CAD / CAM软件实现最快的自动3D打印。带有1μm的聚焦直径，适用于激光直接写入过程，如3D聚合物微结构的多光子聚合，超快激光刻录的3D波导写入，玻璃和晶体中的3D光刻，选择性激光诱导蚀刻，玻璃内部焊接和精密微观结构切除。LightFab 3D打印机将快速电流计扫描仪，精密轴系统，和超精密聚焦模块，快速飞秒激光，显微镜物镜，显微镜相机和自动对焦系统集成在一个"盒子"内。可以通过移动写场，对较大的结构实现精确地拼接。此外，设备所附带的CAD软件，可以通过调整3D几何结构的灰度等参数，对结构的形貌进行精确地控制。

该系统可用于所加工的结构在MEMS器件、光子学器件以及生物医学器件中具有重要的应用价值。