硅基纳米结构的单光子探测器

硅基单光子探测器在量子通讯、量子计算以及各种成像等多领域应用广发，但其在近红外波段的探测效果很不理想。其主要原因是交接点的厚度对时间抖动和捕获效率的影响。斯坦福大学的Matthew Morea团队通过反向金字塔阵列结构获得了在红外波段25ps时间抖动，2.5倍增强效果的单光子硅基探测器。将这种探测器与金属氧化物半导体兼容性较好，从而使单光子探测器、光电倍增管等器件获得更宽的探测范文。该成果发表在Nature Nanotechnology上（DOI: 10.1038/s41467-017-00733-y）

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图1：单光子探测器结构示意图与实物电镜照片