电子束直写亚10纳米结构硫化锌

纳米结构金属硫化物制备传统上一般采用化学方法或者模板自组装法制备，但是这些制备方法在纳米结构可控性以及位置可控性上都很差。新加坡材料工程研究所科学技术部的研究者开发了一种电子束直写硫化锌纳米结构的新工艺，他们采用了电子束敏感的丁基黄原酸锌作为光刻胶，不需要经过剥离和刻蚀流程，仅需要简单的涂胶和电子束光刻就能实现硫化锌纳米结构的直接制备。研究者通过微区拉曼光谱和红外光谱技术对丁基黄原酸锌的电子束损伤进行时域分析，发现暴露于电子束会使黄原酸酯部分快速消失，并且随着电子剂量的进一步ZnS的出现，通过高分辨率透射电子显微镜和选区电子衍射证实了ZnS纳米晶体的形成。研究者通过这种方法制造了小至6nm的ZnS线和接近22nm间距的10nm图案化点阵。通过该技术制备的ZnS显示了与子带隙光学转变相关的缺陷诱导的光致发光。这种方法实现了功能性硫族化物纳米结构的可控设计。相关工作发表在ACS Nano上。

相关链接：http://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/acsnano.7b03951

图1 通过电子束直写的亚10nm硫化锌纳米结构SEM照片

图2 电子束直写硫化锌荧光发光结构照片