德国ALLRESIST AR-P 3740 紫外正性光刻胶

德国ALLRESIST公司专门从事紫外或电子束曝光工艺所需电子化学品的研发、生产和销售。产品覆盖了各种光刻工艺中使用的紫外光学光刻胶、电子束光刻胶、特殊工艺用胶（剥离工艺光刻胶(LOR)、导电胶、耐酸碱刻蚀光刻胶、耐高温光刻胶(聚酰亚胺)等）。3740紫外正性光刻胶的感光波段为宽紫外、i-线（365nm）、g-线（436nm）；其厚度约为1.5um@4000rpm并可稀释使用；其分辨率与对比度分别为0.4μm@1.4μm与6.0。基于AR-P 3740所制备的结构具有优异的稳定性以及耐干法刻蚀性能。