2020年第1期,总第017期

CERES微纳金属3D打印系统

实现三维微纳金属结构的3D打印,在微纳电学器件、三维光学器件的设计中具有重要的意义。为了实现这个目的,来自瑞士的Exaddon公司基于μAM技术提出了CERES微纳金属3D打印系统,该系统利用中空AFM探针配合微流控技术在准原子力显微镜平台上将带有金属离子的液体分配到针尖附近,再利用电化学方法将金属离子还原成金属像素体,通过位移台和针尖在空间方向的移动获得目标3D结构。除了进行三维微纳米金属结构的制备外,该系统还可以进行材料的纳米光刻、表面修饰等操作。CERES系统的研发为基础物理研究、微电路修复以及表面等离激元器件制备提供了一个新的解决方案。

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