与传统固体器件相比,集成在弹性基底上的功能器件具有灵活、动态可调和生物兼容等优点。然而,在弹性基底上可靠地形成二维纳米颗粒、纳米间隙和三维纳米结构仍然面临一些困难。传统的转移方法在弹性基底微器件的制备中起着重要的作用,然而,传统转移方法很难转移特征尺寸低至几个微米的结构。来自中山大学的金崇君小组开发了一种基于“金属辅助转移”方法的柔性技术。其关键概念是引入金属薄膜作为纳米结构与基底之间的辅助层,以辅助制备传统转移方法无法成功转移的纳米结构。利用该方法可以可靠地转移各种在弹性基底上难以实现的二维纳米结构。甚至可以控制形成金属颗粒之间的亚 10 nm间隙。此外,基于该技术,可以直接从预应变的二维图案组装三维纳米结构。该工作所展示的三维纳米结构在特征尺寸上比目前最先进的机械组装三维结构小2个数量级。该方法在实现可调纳米颗粒和三维纳米结构方面具有许多优越性能,有望成为纳米光学和超高集成密度光电器件的主流技术。该工作发表在ACS Nano 13 (2019) 440–448上。