3D纳米结构高速直写机
随着微/纳流控、微/纳机电、超材料、光子晶体、表面等离激元、量子芯片等微纳技术领域研究的发展，对高精度三维纳米结构及其阵列的加工需求越来越显著，需要加工设备能够在X、Y、Z三个方向实现高精度加工，并且具有足够的加工速度。有鉴于此，瑞士Swisslitho公司基于热扫描探针光刻技术，设计研发了NanoFrazor 3D纳米结构高速直写机。该系统在水平方向具有10 nm的图形分辨率，纵向具有1 nm的图形分辨率，直写速度可以达到10 mm/s。独特的扫描探针技术，使探针在直写图形的过程中，可以实时探测图形形貌，无需显影即可获知图形直写结果，方便用户随时调整、优化工艺，有效缩短工艺摸索周期；此外，热扫描探针光刻技术还可以有效避免诸如临近效应及电子损伤等问题，极大的提升了诸多复杂结构加工的可行性及可操作性。
