蔡司MultiSEM多束扫描电镜

蔡司全新开发的多电子束扫描电镜MultiSEM，通过61束或91束电子束同时聚焦并在样品表面并行扫描成像，从而实现了在纳米尺度对大范围样品区域的快速成像。形象的来看，蔡司MultiSEM将一束电子束分成61束或91束电子束，就像淋浴花洒一样，这些电子束被聚焦于样品表面的相邻区域，同时扫描，再经由61个或91个探测器同时探测并成像。其成像速度相比较于常规的单电子束扫描电镜可实现几十倍的提升。例如，对于1mm2的样品区域，要获得4nm分辨率的照片，使用常规单束电镜，需要对每个子区域成像并进行图像拼接，总成像时间约为2-3小时；而MultiSEM多束电镜完成同样的工作仅需几分钟，且如此大幅度的速度提升完全不会影响图像质量和分辨率。通过MultiSEM的快速成像，可对样品进行快速的大视野高分辨扫描，甚至结合连续切片技术实现大体积三维成像，定位至感兴趣区域后，再进行更高精度的成像与细节研究。MultiSEM克服了常规单束扫描电镜对大视野范围进行纳米尺度成像的困难，其独特的成像技术和高效的成像能力使其可广泛应用于神经科学，脑科学研究，以及半导体芯片和逆向工程等领域。p>

详情请参考: https://www.zeiss.com.cn/microscopy/products/electron-microscopy/multisem.html