纳米压痕仪
型号： G200 Nano Indenter
厂家： 美国keysight公司
技术指标:
配备连续刚度模块
最大载荷：500mN
载荷分辨率：50nN
最小接触力：10μN
最大压入深度：500μm
Z方向可变行程：1.5mm
XY方向位移分辨率：1μm
放大倍数：光学CCD放大x25，物镜x10，物镜x40
框架刚度：~5X106N/m
责任工程师：唐成春
基本功能：
可用于常规金属、陶瓷、半导体、有机等块体材料弹性模量和刚度测试，以及相关薄膜结构材料的弹性模量、刚度测试和粘附力测试。
工作原理：
下图为金刚石压头微力驱动及探测装置结构示意图以及实物图。依靠对电极静电力提供动力，通过电容变化探测形变量。
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基本测量方法与测量参数。
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不同压入深度的杨氏模量和硬度 |
深度-载荷曲线，测试材料蠕变性能等 |
