Zeiss AURIGA® Laser激光快速材料移除与原位分析系统

AURIGA® Laser 是集激光束、电子束与离子束三束于一体的系统。相应地，此系统可以在设备内依次进行材料的快速移除、定点定位的局部加工、高分辨成像以及X-射线分析等。系统还具有复杂图形的加工能力，加工对象可以是非导电材料。由于可用激光束进行大尺度快速加工，通过离子束进行精修处理，并通过电子束及其与材料的相互作用产生的信号进行原位分析，大大提高工作效率，此系统在材料与器件失效分析上具有潜在的应用。