Nanoscribe Photonic Professional GT快速高分辨飞秒激光直写系统

飞秒激光直写加工是指利用光与物质相互作用的非线性双光子吸收光聚合效应，获得远小于衍射极限的图形结构的加工技术。双光子诱导的光聚合过程中，当激光聚焦在光刻胶上时，在物镜焦点处空间体积很小的地方发生光化学反应，通过样品台或激光光斑的移动获得光聚合点的三维路径，然后通过显影定影后续处理，最终可形成加工尺度突破光学衍射极限的多种跨尺度、多维度复杂结构。 因此这一技术在三维微细加工、光子晶体、生物、机械、微流体等方面有很好的应用。

但飞秒激光光聚合反应过程是一个点到点的逐层的加工过程，靠压电陶瓷台的运动工作，加工效率仍是一大挑战。最近德国Nanoscribe公司推出的光子专业GT系统采取了光斑扫描的模式，扫描速度比压电陶瓷台位移速度有五十多倍的提高。为进一步配合并提升其加工速率，他们还开发了新的光致抗蚀剂IP-S，这使得打加工的结构具有最大的机械强度、高精度、超高分辨率和快速成型等特点，而且所制备的结构表面十分光滑。同时Nanoscribe公司对其专有软件NanoWrite进行了升级，以满足数据处理和高分辨率3D模型的要求，实施智能算法后比以前的版本速度更快。加工制备毫米级的图形，只需几十分钟， 使大面积加工成为可能。

Photonic Professional GT设备外观

采用三维激光直写设备制备的各种结构的SEM图形（最小图形尺寸可达150nm，花样滑冰运动员高度达3毫米）

详情请参考： http://www.nanoscribe.de/en/products/photonic-professional-gt/