型号： SE-VE-L
厂家： 颐光科技
技术指标:

1.光谱范围：400-1000nm；

2.测量时间：＜10s；

3.入射角范围：65°；

4.光斑尺寸：2-5mm（椭圆形长短轴直径）；

5.膜层重复精度：优于0.01nm （100nm SiO2硅片，30次，1σ）

6.分析软件：Eometrics，支持用户自定义光学材料库，提供单层/多层各向同性光学薄膜建模仿真与分析功能。

测量样件引起偏振态改变量，无损精准提取薄膜膜厚以及光学常数（折射率及消光系数）的参量。广泛应用于各种介电薄膜、半导体薄膜、导体薄膜（ITO,TiN...）等单层到多层膜系材料物性信息的快速，无损测量