孤立的倾斜三维纳米结构的等离激元模式转换

      等离激元金属纳米锥结构由于纳米尖端强的场增强在传感、单粒子捕获等方面有很好的应用。现在研究的金属纳米锥结构通常为垂直于基底的对称结构。德国图宾根大学Monika fleischer小组对倾斜的非对称金纳米锥进行了研究。首先他们开发了两种倾斜金纳米锥的制备方法：一是采用硬掩膜，利用氩离子束倾斜刻蚀的方式实现，其流程图及刻蚀结果如图1所示；二是采用电子束倾斜曝光及倾斜蒸镀的方式实现，其流程图及剥离结构如图2所示。垂直于基地的对称金属纳米锥具有两个不同的偶极等离激元模式，激发电场平行锥轴的顶端面外极化和电场垂直锥轴的底部面内极化。而对于倾斜金纳米锥，由于其不对称性，使其在纯面内极化入射时，可同时激发顶端的面外极化模式。相关工作发表在Nanoscale 11 (2019)5429-5440上。

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图1 利用倾斜刻蚀工艺实现倾斜金纳米锥的工艺图及不同角度的刻蚀结果

图2 利用倾斜电子束曝光及蒸镀工艺实现倾斜金纳米锥的工艺图及剥离结果