单离子注入(SII)

Nano analytik研发了一款基于新型扫描探针显微镜针尖的离子注入系统。该系统利用探针悬臂上紧邻针尖的小孔（小于 50nm）并结合扫描探针的精确定位，完成具有高度空间分辨率的单离子注入。应用此项技术可以制备纳米尺度的功能器件，例如可用于量子计算机的单电子晶体管。

技术特点：

1. 精确定位定量离子注入
2. 针尖悬臂上的小孔小于50nm
3. 锥形电场稀释和准直离子束
4. 横向电场形成离子闸门

详情请参考: http://analytik.co.uk/

单离子注入(SII)

工作原理示意图（纳米漏斗）            氮离子注入金刚石色心                     场效应器件验证离子注入

扫描探针悬臂梁，扫描针尖及紧邻的小孔（50nm）