ASML公司最新深紫外光刻机
ASML公司生产的TWINSCAN NXE平台是用于极紫外光刻的最早的设备平台。而NXE:3350B是NXE:3300B型号的更高级版本，可以通过离轴照明技术实现16nm工艺。
NXE步进式扫描系统使用的是激光等离子体光源发出的13.5nm极紫外光。它使用Carl Zeiss SMT的4 x缩影镜头，数值孔径为0.33，最大曝光场面积为26mm×33mm。
NXE:3300B的具体参数如下：
| NA | 0.33 |
| Resolution | ≤ 16 nm |
Overlay
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| Productivity | ≥ 125 wph |
详情请参考: https://www.asml.com/products/systems/twinscan-nxe/twinscan-nxe3350b/en/s46772?dfp_product_id=9546
