飞纳台式扫描电子显微镜系统

扫描电子显微镜广泛应用于科研与生产中，尤其是在纳米科学研究中，是高分辨观测的有效手段。但高分辨扫描电子显微镜对放置环境要求较高，需额外的减震装置，成本较高。

飞纳台式扫描电镜系统，是一款既经济又能满足广泛需求的显微分析系统。在其内部集成有彩色光学显微镜并且可以放大聚焦，分辨率优于10nm，可以放大13万倍。采用CeB6灯丝，单根寿命超过1500h。可以实现快速换样，抽真空时间小于15s。且有真空分级技术，从而使得低真空观测灯丝寿命不受影响。图像观测采用光学导航与电子导航两种界面，通过鼠标点击可轻松实现样品位移。设备还可以选配适用于不同领域的样品杯、丰富的软件应用系统（纤维测量系统、3D粗糙度、孔径测量系统、颗粒测量系统、全景拼图软件以及能谱等），可实现多功能与多种数据处理。

图1：飞纳台式扫描电子显微镜。

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