2020年第1期,总第018期

ATOM 6500C型匀胶&显影&烘干一体机

匀胶、显影以及烘干过程作为光刻的辅助技术,对于光刻结构的成功制备起到了重要的作用。匀胶、显影以及烘干过程的高质量控制,以及流水线的进行,对于提高结构的形貌控制力以及加工成功率具有重要的作用。因此来自台湾的聚昌科技设计了ATOM 6500C型匀胶&显影&烘干一体机,该设备由盒站、对准、传送、匀胶、热处理、化学品供应、排液系统以及控制模块组成。借助图形化的操作接口,能够自动控制并完成4/6寸标准晶圆基片匀胶工艺。该设备具有三套机械手、具有先进的光刻胶节量技术,能够在硅片和蓝宝石基底上实现流水化的匀胶、烘烤以及显影过程,具有全自动控制以及工艺稳定的特点,产率超过了180片/小时。该设备作为辅助设备,在高质量的EBL光刻、紫外光刻等过程中具有重要的应用价值。

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图:ATOM 6500C型匀胶&显影&烘干一体机