仪器设备独立操作培训:

       为了满足物理所各实验室课题组在微纳加工方面的科研需求,微加工实验室每年举办两次(春季和秋季)仪器设备独立操作培训,培训人员范围包括物理所在籍的研究生、博士后和研究人员,培训仪器设备包括各种微纳加工设备、刻蚀设备、沉积设备和表征测量设备等,整个培训过程按照规定流程进行,培训完成并经考核合格后,将获得微加工实验室仪器设备独立操作资格证书,可以预约实验室各种仪器设备并独立操作使用,开展各项科研工作。

培训流程:

培训设备种类:

编号

设备

培训老师

1

FIB-DB235/FIB-H600

金爱子,李无瑕

2

EBL-150

杨海方

3

EBL-6300

唐成春

4

紫外光刻(MA6

全保刚

5

激光三维直写

李无瑕

6

纳米压印

金爱子

7

反应离子刻蚀

夏晓翔,刘哲

8

电感耦合等离子体反应离子刻蚀

夏晓翔,刘哲

9

离子束刻蚀

全保刚

10

微波等离子体去胶机

杨海方

11

原子层沉积

唐成春

12

热蒸发

全保刚

13

电子束蒸发

全保刚

14

等离子体增强化学气相沉积

夏晓翔

15

台阶仪

金爱子

16

引线仪

金爱子

17

原子力显微镜

金爱子

18

椭偏仪

李无瑕

19

低温四探针电学测试平台

唐成春

20

快速退火炉

刘哲

21

白光干涉三维成像系统

唐成春

 

培训时间安排:

2016年微加工秋季培训 [点击下方链接下载]

2016年秋季微加工设备独立操作培训.rar