仪器设备独立操作培训:

       为了满足物理所各实验室课题组在微纳加工方面的科研需求,微加工实验室每月举办一次仪器设备独立操作培训,培训人员范围包括物理所在籍的研究生、博士后和研究人员,培训仪器设备包括各种微纳加工设备、刻蚀设备、沉积设备和表征测量设备等,整个培训过程按照规定流程进行,培训完成并经考核合格后,将获得微加工实验室仪器设备独立操作资格证书,可以预约实验室各种仪器设备并独立操作使用,开展各项科研工作。

培训流程:

培训设备种类及培训老师:

编号

设备

培训老师

1

聚焦离子束系统 (两台)

金爱子

2

氦氖离子显微镜

田士兵

3

电子束曝光系统 (Raith 150)

杨海方

4

电子束曝光系统 (JEOL 6300FS)

耿广州

5

紫外光刻 (两台)

全保刚

6

激光三维直写

全保刚

7

激光直写系统

杨海方

8

纳米压印

金爱子

9

反应离子刻蚀 (两台)

张忠山

10

电感耦合等离子体反应离子刻蚀 (两台)

张忠山

11

离子束刻蚀  (两台)

全保刚

12

微波等离子体去胶机

杨海方

13

原子层沉积

耿广州

14

热蒸发 (两台)

燕军祥

15

电子束蒸发 (两台)

燕军祥

16

等离子体增强化学气相沉积 (两台)

张忠山

17

切片机

张忠山

18

台阶仪 (两台)

金爱子

19

引线仪 (两台)

金爱子

20

原子力显微镜 (两台)

田士兵

21

椭偏仪

张忠山

22

低温四探针电学测试平台

田士兵

23

快速退火炉

张忠山

24

白光干涉三维成像系统

耿广州

25

纳米压痕仪

金爱子

 

培训时间安排:

自2018年度开始,微加工设备培训方式由春秋两次培训改为每月即时培训的模式,每月底进行一次超净间安全培训,然后依次安排用户的设备培训和考核。

仪器独立操作资格证书样本: