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怀柔微纳米加工平台子系统顺利通过院组织的首批性能工艺测试

      2021年10月9日,中国科学院条件保障与财务局组织了综合极端条件实验装置第一批子系统性能工艺测试。微纳米加工平台子系统作为第一批子系统,参加了本次性能工艺验收会。来自中科院半导体所、电工所及各高校的专家听取了微纳米加工平台的工艺指标完成情况汇报,并制定了现场测试方案。之后,中科院电工所韩立研究员、半导体所樊中朝研究员与微电子所夏洋研究员对微纳米加工平台子系统的设计指标进行了现场工艺测试。经过现场查看设备运行状况与工艺指标测试,专家一致认为微纳米加工平台已实现了预期的全部工艺性能,部分指标优于初步设计报告中批复的验收指标,顺利通过了性能工艺测试。通过工艺性能测试之后,微纳米加工平台具备了试运行和开放共享的能力,为综合极端条件实验装置通过整体验收奠定了良好的基础。

专家制定现场测试方案

参会专家现场查看设备运行情况