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怀柔微纳加工实验平台首批设备顺利通过技术验收

      2021年3月18日下午,微加工实验室主任李俊杰研究员组织了怀柔微纳加工实验平台设备验收会。理化所孟祥敏研究员、半导体所谢亮研究员、国家纳米中心褚卫国研究员作为评审专家参加了设备验收会。在听取了各设备技术指标验收报告并现场查看设备安装调试记录和运行状况后,专家一致认为19台设备的各项技术指标符合合同要求,满足验收条件,通过了各设备的技术验收。验收的设备具备开放共享运行和提供技术服务的能力。

会议现场照片