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微纳加工平台在“怀柔园区2021年度工作计划交流会”上做子系统进展汇报

    2021年2月5日,怀柔研究部在材料基因平台A楼五层会议室召开2021年度工作计划交流会,会上微纳加工平台子系统就平台建设、建设进展、近期规划、工艺进展、面临问题展开详细汇报。微纳加工平台子系统各项进度均提前CMP表规划,超净间于2020年11月26日成功验收,评定合格,到目前已经正常运行1680个小时;2台无掩膜曝光设备,7台表征设备以及若干辅助设备完成安装,能够实现光刻、表征;微纳子系统计划将于2021年9月份完成所有设备的安装、调试和验收,争取早日为怀柔园区的“一装置两平台”用户提供服务。

微纳加工子平台进展汇报现场照片

怀柔微纳加工平台建设进展视频