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怀柔微纳加工实验平台洁净系统顺利通过技术验收

    2020年11月26日上午,物理所微加工实验室和物理所基建办共同组织展开了对怀柔微纳加工实验平台超净室的验收工作,经现场勘察、测试和验收会议资料评审,由微加工实验、所基建办、工程咨询单位和装置物业工程部共同评定,怀柔微纳加工实验平台超净室工程达到了设计标准,工程质量验收评定为合格。

    从6月23日怀柔微纳加工实验平台超净室开工至11月25日竣工,共历时五个月。在受疫情反复,绝大多数工程延期的大环境影响下,微纳加工超净室工程保质保量地完成了二次装修任务,比计划日期提前了半年时间。对于微加工实验室提出扩容参观走廊、增加门厅壁板窗户及千级灰面积等问题,施工单位给予积极的配合,并自行协调解决了材料订货周期长、成本增加等困难;同时针对基建办和咨询单位提出的工程质量问题,施工方都给出了及时有效的整改和回复,并得到了实验室与基建办的认可,一致认为微纳加工超净室施工单位在工程速度和质量上都保持较高的水准,同时积极配合各方的工作,资料上报标准规范,给综合极端实验条件装置其他二次改造施工单位做出了表率。

    验收会上微加工实验室李俊杰主任表示,超净间的顺利验收离不开各方的努力,基建办从开工以来及时协调解决了各方交接过程中的各种建设问题,装置园区物业提供了强有力的保障,工程咨询单位从进场至竣工阶段对工程质量严格把关,共提出七十余条行之有效的专业咨询建议,细致入微,工程质量安全得到了保障。

    李俊杰主任介绍,超净室的顺利验收意味着怀柔微加工实验室已经进入了科研状态,目前怀柔微加工平台的到货设备数量达到了50%,到货设备将于11月底开始进行安装调试。作为物理所怀柔国家综合极端条件实验装置的重要公共技术平台,怀柔微加工实验室的洁净面积1080㎡,配置了国际先进水平的微纳加工设备,大幅提升了物理所的科研支撑能力,其开放共享的运行机制,将为物理所乃至全国的科研用户提供高质高效的微纳加工技术服务。

 

会议现场                                                          会议合影

  

千级洁净区                                                     百级洁净区

  

参观走廊                                                     洁净室机房

怀柔微加工子系统整体外观