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微加工实验室引进高分辨扫描电子显微镜(Hitachi Regulus8230)

    近日,微加工实验室引进了日本日立公司生产的Regulus8230型超高分辨冷场发射扫描电子显微镜,经过装机以及验收后,目前该设备已经正式投入使用。

    Regulus8230 显微镜配置了冷场发射灯丝,顶位、高位、低位二次电子探头以及快速进样室等。借助于先进的电子束光学系统,设备的成像分辨率能够达到0.6 nm。电子束加速电压可在0.5-30KV之间连续调整,能够对金属、半导体甚至绝缘样品进行清晰的成像。设备也配备了五轴马达台,能够实现样品的移动、旋转以及倾斜操作,可以多角度的观察样品形貌,最大样品尺寸达到了4英寸。具有灯丝寿命长、成像清晰、使用灵活方便等特点。在量子器件、光电器件等微纳结构的表征中具有不可替代的作用。希望所内外用户在了解了新设备的特色和功能后,结合本组研究方向的特点利用好新设备,加强所内合作与交流,推动物理所科研工作的顺利开展。

图:超高分辨扫描电镜及其拍摄的高分辨率和绝缘材料照片