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微加工实验室公共技术报告

5月17日德国海德堡仪器微型技术有限公司(HIMT)产品经理Alexander Wild先生来物理所微加工实验室进行技术访问,在M236会议室做了关于“无掩膜激光直写设备、工艺及应用”的报告。

Alexander Wild先生于2001年加入HIMT, 先后任产品应用工程师、大面积直写系统安装与技术服务团队负责人、DLPTM产品主要负责工程师、MLA系列产品主要负责工程师及产品经理。

报告首先介绍了MLA150型无掩膜激光直写光刻机,该光刻机基于DLPTM器件的新型光学引擎,大大提高了写入速度,直写四英寸的基片只需要10分钟左右的时间。同时Alexander Wild先生根据自己多年的经验,对无掩膜激光直写的工艺及应用等也做了详细的阐述。

报告结束,科研一线的研究人员就设备功能、工艺应用等提出问题,Alexander Wild先生与大家进行了积极、详尽的讨论和交流,使大家对无掩膜激光直写设备及应用有了深入的了解。