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微加工实验引进He/Ne离子显微镜等新设备介绍会

2018年10月16日上午,微加工实验室在M楼236会议室举办了He/Ne离子显微镜、临界点干燥仪和切片机等三台新引进设备的介绍会,由微加工实验室工作人员田士兵副主任工程师详细介绍了的这三台设备的具体功能和应用。

       会议由微加工实验室主任李俊杰主持,在简短介绍了实验室近期的整体发展情况后,田士兵老师首先详细介绍了有蔡司公司出品的He/Ne离子显微镜设备,该设备配置了He、Ne和Ga离子源和W与SiO2气源,适合亚纳米到纳米尺度图形结构的成像、刻蚀、沉积加工功能,成像分辨率为0.5纳米,结构加工的最小特征尺度为亚10纳米,主要用于精细结构、非导电、磁性等样品的的高分辨率加工和表征。随后,还介绍了临界点干燥仪和切片机, 它们分别用于干燥微纳加工过程中生长加工的样品结构和多种常见半导体材料晶片的快速切割。这些设备的投入使用可进一步提升纳米尺度结构的加工及形貌表征能力。

     介绍会吸引了30余位所内的微纳加工用户参加,大家就新设备的功能和使用进行了热烈的讨论。希望所内用户在了解了新设备的特色和功能后,结合本组研究方向的特点利用好新设备,加强所内合作与交流,推动物理所科研工作的顺利开展。

介绍会现场