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微加工实验室系列学术报告

1月12日卡尔蔡司美国公司离子显微技术研发中心尉东光博士来物理所微加工实验室做技术访问,在M253会议室做了关于“氦/氖离子束纳米加工方法:原理、仪器及应用”的报告,吸引了所内外五十余人前来参加。

微加工实验室李俊杰主任首先对报告人进行了简要介绍:尉东光,物理化学专业博士,卡尔蔡司美国公司离子显微技术研发中心高级研究员。曾工作于中科院山西煤化所,中科院高技术研究与发展局,美国匹茨堡大学,新泽西理工学院和哈佛大学等大学与研究机构。2006年初进入卡尔蔡司美国公司,历任透射电镜产品经理,(北美)应用技术部主任,现为离子显微技术研发中心高级研究员, 从事场离子显微镜方面的研究。已发表学术论文近50篇,其中近10篇发表于Cell, Nature Materials, Nano Letters, Small, Advanced Materials, ACS-Nano等有影响的学术期刊。

    报告简要介绍了气相场离子源技术的原理和氦/氖离子束的产生机制、特征及相关仪器,并对目前氦/氖离子束技术在微纳加工领域的重要应用成果做较为详细的介绍。其中着重介绍了在亚10纳米尺度下材料和器件的直接加工技术,基于氦/氖离子束的离子束曝光技术,氦/氖离子束对材料的辐照损伤,非导电、磁性及生物等材料的高分辨率成像表征,以及通过离子束辐照/注入对材料/器件的结构和性能进行改性等新的应用方向和领域。报告为科研人员系统介绍了这项新兴的纳米加工技术基本原理机制和典型应用实例,以期在纳米前沿领域研究中得到重要应用。

报告结束,科研一线的研究人员就设备特色功能等提出问题,魏博士与大家进行了积极、详尽的讨论和交流,使大家对氦离子显微镜技术在凝聚态物理中的应用有了深入的了解。

 

                李俊杰主任做开场介绍                                 尉东光博士作学术报告