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微加工实验室系列学术报告

10月20日微加工实验室邀请到华中科技大学刘世元教授来物理所做关于“光谱椭偏学:原理、仪器及在纳米测量中的应用”的报告,吸引了所内外五十余人前来参加。

微加工实验室李俊杰主任首先对报告人进行了简要介绍:刘世元教授现任华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室教授、博士生导师,国家杰出青年科学基金获得者,科技部中青年科技创新领军人才,国际测量与仪器委员会理事。刘教授近年来主持了6项国家自然科学基金、首批国家重大科学仪器设备开发专项等项目,获国际国内发明专利42件,在Opt. Express、Opt. Lett.等期刊发表SCI论文100余篇,重要国际会议做大会/特邀报告30余次;担任组委会主席,于2014年和2016年分别在武汉和南宁组织召开了第一届和第二届“全国椭圆偏振光谱学研讨会”。

刘教授首先介绍了传统椭偏测量的基本原理及在多层光学薄膜表征中的应用;然后阐述IC集成电路、OLED/OPV、柔性电子等领域中普遍采用的超薄层状纳米结构及其测量挑战;接下来介绍了课题组的若干最新进展,包括自主研制的国内第一台高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏仪,及其在IC纳米结构形貌测量、二维材料单原子层膜厚表征、OLED/OPV材料分子取向各向异性分析、原子层沉积(ALD)薄膜成核过程原位测量、以及卷对卷(roll-to-roll)大面积纳米结构薄膜量产在线监测中的应用;报告最后展望了椭偏测量的应用前景及未来发展趋势。

报告结束后,刘教授与大家进行了积极、热烈的讨论和交流,使大家对光谱椭偏学技术在凝聚态物理中的应用有了深入的了解。

 

                李俊杰主任做开场介绍                                  刘世元教授作报告

报告会场