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祝贺微加工实验室获得牛津仪器“发现科学之美”科学摄影大赛一等奖

微加工实验室    2016年5月27日


     

       由牛津仪器举办的“发现科学之美”科学摄影大赛于2016年5月10日落下帷幕,微加工实验室刘哲工程师提交的作品《GaN六棱台》和《遗迹》获得了等离子技术组一等奖。

作品-1名称:《GaN六棱台》
作品简介:GaN是一种重要的半导体材料,通常具有六方纤锌矿结构。通过刻蚀过程中不同晶面刻蚀速率的差异能够获得六棱台结构,体现了大自然中无处不在的对称之美。

 

作品-2名称:《遗迹》
作品简介:硅的低温深刻蚀工艺可以很好的控制结构的侧面形貌,通过各向同性刻蚀将十字形状逐渐变为圆形,仿佛是在空旷原野上的一颗锈迹斑斑的航空炸弹。

相关链接:http://www.oxford-instruments.cn/news/2016/may/das-awards