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微加工实验室召开FIB用户交流会

微加工实验室    2015年12月2日


     

       2015年11月30日,在M楼202微加工实验室会议室召开了FIB(聚焦离子束系统)用户交流会,针对近几个月来微加工实验室FIB设备在使用中出现的一些问题进行了总结和交流。参加交流会的有物理所先进材料实验室和微加工实验室的部分老师和同学,以及FEI公司的技术人员。

       李无瑕老师首先向大家详细汇报了自8月16日FIB设备出现故障以来微加工实验室和FEI公司所做的故障排查工作,以及设备常见故障的解决办法。然后FEI公司的工程师高洪源从技术层面分析了FIB故障产生的可能原因和逐步排查的过程,最终发现是离子腔内部污染导致短路。FEI负责人承诺以后将加大对物理所故障排查的力度以及响应速度,尽力做好设备故障防范与维护工作。

       随后大家就工作中经常遇到的问题与FEI工程师进行了探讨,对于不能现场解答的问题,工程师将进一步与厂家沟通后回复。最后,微加工实验室主任李俊杰老师对FEI公司与FIB用户提出要求与希望,希望广大用户细心的使用设备、爱护设备、提高使用效率、多出结果;管理与使用上,大家要善于发现问题、提出问题、把问题解决在萌芽阶段。