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仪器设备
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加工设备
> 高压电子束曝光系统
> 电子束扫描/直写系统
> 聚焦离子束双束系统
> 激光直写设备
> 紫外曝光系统
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刻蚀设备
> 电感耦合等离子体刻蚀
> 反应离子刻蚀系统
> 氩离子束刻蚀设备
> 微波等离子体去胶机
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沉积设备
> 超高真空磁控溅射镀膜机
> 电子束蒸发系统
> 等离子体增强化学气相沉积
> 原子层沉积系统
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测量设备
> 扫描探针显微镜
> 台阶仪
> 薄膜应力测量仪
> 椭偏仪
> 四探针电学测试系统
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辅助设备
> 超声波引线仪
> 离子溅射仪
> 光学显微镜
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高压电子束曝光系统
电子束扫描/直写系统
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激光直写设备
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电感耦合等离子体刻蚀
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