仪器设备

电子束蒸发系统

型号: FU- 12PEB
厂家: 台湾富临科技工程股份有限公司
技术指标:
 (1)极限真空:3 ×10-7Torr(12hr).
 (2)工作真空:3×10-6Torr(冷泵抽20min后).
 (3)温度要求:Max. 200℃,加热丝.
 (4)温度均匀性:≦±5℃.
 (5)膜厚均匀性: ≦±5%.
 (6)载片台:ψ6英寸.
责任工程师:
联系方式:82649098 quanbaogang@iphy.ac.cn
仪器位置:M楼超净间千级区
主要功能及应用范围:
    利用电子束这种种高速的电子流对膜料轰击产生的热效应实现薄膜蒸镀。本系统含多个蒸发源,可以制备多层堆垛薄膜。电子束蒸发系统在微纳米加工技术中占有重要地位。