仪器设备

热丝化学气相沉积

厂家: 沈阳科学仪器研制中心有限公司
技术指标:
 (1)极限真空:5E-4Torr.
 (2)配备工艺气体:CH4,H2,Ar.
 (3)样品台直径:134 mm,转速1-10转/分,上下行程90 mm.
 (4)功率:10 kW,最大电流:200 A. 
责任工程师:闫石
联系方式:82649098 yanshi@iphy.ac.cn
仪器位置:M楼202-1
主要功能及应用范围:
    热丝化学气相沉积利用灯丝加热反应物,使反应物通过等离受热分解而活化,经反应后沉积在衬底上。热丝化学气相沉积的沉积温度很高,可用于于制备碳基薄膜材料,包括金刚石薄膜、类金刚石薄膜等。