仪器设备

微波等离子体化学气相沉积系统

型号: SDS5250S CVD System
厂家: 日本Seki Diamond Systems公司
技术指标:
 (1)微波源功率范围:600-5000 W.
 (2)配备工艺气体:H2,CH4,O2.
 (3)红外测温仪探测范围:475-1475.
 (4)偏压范围:0-600 V,0-1.7 A。
 (5)工作气压:200 Torr。
责任工程师:闫石
联系方式:82649098 yanshi@iphy.ac.cn
仪器位置:M楼201-2
主要功能及应用范围:
    微波等离子化学气相沉积通过等离子增加前驱体的反应速率,降低反应温度。适合制备面积大、均匀性好、纯度高、结晶形态好的高质量硬质薄膜和晶, 如大尺寸宝石级单晶钻石、高取向度金刚石晶体、纳米结晶金刚石和碳纳米管/类金刚石碳(DLC)等。