仪器设备

晶圆喷胶机

型号: SSC-200
厂家: 苏州美图半导体技术有限公司
技术指标:
   喷胶范围:2-4 英寸
   喷胶厚度均匀性:<10 % @10μm
   喷胶结构深宽比:<1
   雾滴尺寸: D50<10um
   热板温度范围:常温~125℃
   运动精度:0.1mm
责任工程师:全保刚
联系方式:82649098 quanbaogang@iphy.ac.cn
仪器位置:C楼超净间百级区
主要功能及应用范围:
     通过喷雾的方式,将光刻胶喷淋在微米尺寸的三维结构表面,获得均匀光刻胶涂覆效果。主要应用于三维结构表面光刻胶喷涂,MEMS器件制造、三维封装、3D互联及特种半导体器件制造等研究领域。