仪器设备

三温区真空管式炉

型号: TL1200
厂家: 南京博蕴通仪器科技有限公司
技术指标:
   恒温区长度:100mm
   工作温度1100℃,极限温度1200℃
   最大升温速率25℃/min, 常用工作升温速率10℃/min
   极限真空度:0.1 Pa
   气氛控制:H2,CH4,Ar加一路备用气路
   流速控制精度:1 sccm
责任工程师:田士兵
联系方式:82649098 tianshibing@iphy.ac.cn
仪器位置:M楼202-1
主要功能及应用范围:
     通过辐射加热、水冷以及高精度温度探测与气体流量控制,在特定气氛中,精确地控制样品的快速加温、降温过程;利用快速退火可实现应力释放、合金化、注入激活、硅化物形成、氧化层生长等多种功能。