仪器设备

白光干涉表面形貌仪

型号: Bruker Contour GT
厂家: 德国布鲁克公司
技术指标:
  双 LED 光源 (白光和绿光)
  垂直测量范围: 0.1nm 至 10mm
  垂直分辨率: <0.1nm Ra
  RMS 重现性: 0.0 1nm
  垂直扫描速度:可达 28.1 微米 /秒
  台阶测试精度: 0. 75 %
  倾斜调制范围:± 6°
  反射率范围:1 % to 100%
  样品台移动范围: 150mm (XY轴) /100mm(Z 轴)
责任工程师:唐成春
联系方式:82649098 tangcc@iphy.ac.cn
仪器位置:M楼超净间千级区
 
主要功能及应用范围:
    采用白光干涉三维成像原理工作,配备垂直扫描和相位偏移扫描模式,可以在大气环境下非接触测量金属、陶瓷、塑料等台阶高度、表面粗糙度及三维形貌信息等。尤其适用于不能通过接触测试的软物质表面。