仪器设备

椭偏仪

型号: GES5E
厂家: Semilab
技术指标:
   光源:氙灯75 W;

   光谱波长:UV-VIS 230-900 nm;光波的FWHM< 0.5 nm,单色性好

   光斑尺寸:1 - 5 mm

   到达样品上的常规光斑尺寸:3 mm X 12 mm ( 75°入射角时)

   精度与重复性:1200 Å SO2/Si标样测量: 厚度重复性0.5 Å; 精度5 Å

   数据处理软件:WinElli 2

责任工程师:田士兵
联系方式:82649098 tianshibing@iphy.ac.cn
仪器位置:C楼超净间千级区
主要功能及应用范围:
    用于半导体、电介质、聚合物、有机物、金属、多层膜物质的薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的高质量光谱测试与分析