仪器设备

快速退火炉

型号: AccuThermo AW410
厂家: 美国Allwin21 Corp公司
技术指标:
   腔体尺寸:4英寸
   温度范围:30-1250℃
   温度测量精度:±0.15℃
   温度控制重复性:±0.5℃
   温场均匀性:±1℃
   升降温速率:10-80 ℃/sec(可编程控制)
   工艺气体:N2;O2
责任工程师:田士兵
联系方式:82649098 tianshibing@iphy.ac.cn
仪器位置:C楼超净间千级区
主要功能及应用范围:
     通过辐射加热、水冷以及高精度温度探测与气体流量控制,在特定气氛中,精确地控制样品的快速加温、降温过程;利用快速退火可实现应力释放、合金化、注入激活、硅化物形成、氧化层生长等多种功能。