仪器设备

双探针扫描电镜

型号: LMF02
厂家: 自建
技术指标:
   腔体真空度:1E-4Pa
   SEM放大倍数:2万倍以上
   电子束分辨率:5 nm
   探针移动精度:50 nm
   测量温度:常温-500度
   光源光谱范围:200nm-2500nm
   最大光强:700mW/cm2
责任工程师:田士兵
联系方式:82649098 tianshibing@iphy.ac.cn
仪器位置:M楼202-1
主要功能及应用范围:
    通过引入扫描电镜内的纳米探针,可实现对低维纳米结构与微纳器件特性进行局域的物性测量,同时可研究边温下的物性变化,探索纳米结构与器件的本征物性,是研究材料与器件在低维度、小尺寸下量子行为的重要有效工具。如可用于:一维纳米材料不同位置场发射特性测量,各种纳米结构的电输运与力学特性,纳米操纵等。