仪器设备

表面形貌仪

型号: DektakXT
厂家: 美国布鲁克公司
技术指标:
   扫描长度:55mm
   样品最大厚度:50mm
   高度重复精度:<5Å
   最大样品尺寸:8 in
责任工程师:金爱子
联系方式:82648198 azjin@iphy.ac.cn
仪器位置:C楼超净间千级区
主要功能及应用范围:
      主要用于膜厚测量,应力分析,表面形貌分析.无论是用于科学研究还是工业生产,探针式表面轮廓仪都具有非常好的表现性能,测量重复性和扫描范围均佳。