仪器设备

原子层沉积系统

型号: Savannah-100
厂家: 美国Cambridge NanoTech Inc
技术指标:
 (1)主要沉积高K介电薄膜,如Al2O3, HfO2, ZrO2等.
 (2)沉积的薄膜致密无漏点,大面积(up to 100mm)且均匀性好(<1%).
 (3)薄膜可低温生长(从室温到350℃),膜厚可精确控制在~1Å.
 (4)极好的台阶、孔洞等三维覆盖率,可广泛适用于各种形状的基底.
 (5)配有系统控制软件平台,可编辑工作程序进行多层不同薄膜的沉积。
责任工程师:耿广州
联系方式:82649098 genggz@iphy.ac.cn
仪器位置:C楼超净间千级区
主要功能及应用范围:
    微纳电子学、纳米材料及相关器件等领域,可作为集成电路中MIM电容器涂层,防反射包覆层,多层结构光学电介质,有机发光显示器抗湿涂层以及应用在太阳能电池和MEMS微机电系统等领域。