仪器设备

纳米压印机

型号: Eitre-3
厂家: 瑞典Obducat公司
技术指标:
  压印精度:20nm
  重复性:±10nm(pitch)
               ±15nm(depth)
  压印温度范围:室温至200°C
  最大压力:70 Bar
  冷却方式:气冷
  模板尺寸:77mm
  基座尺寸:10-77mm
  扩展附件:紫外光源(波长250-450nm,功率40-100mW/cm2)、加热台(升温速度0.5-1K/sec)
责任工程师:金爱子
联系方式:82648198 azjin@iphy.ac.cn
仪器位置:M楼超净间百级区
主要功能及应用范围:
    采用气体软压技术,压印均一性与一致性良好。可分别独立采用热压、紫外聚合,也可以将热压紫外聚合联合使用。典型使用领域:光子晶体、亚波长光学器件、OLED、生物微沟道、有机薄膜晶体管等。