仪器设备

飞秒激光三维直写系统

型号: Photonic Professional
厂家: 德国Nanoscribe公司
技术指标:
  激光波长:780 nm
  激光功率:120 mW
  2D分辨率:120 nm
  Z轴分辨率:1 μm
  样品台移动范围:100 mm X 100 mm
责任工程师:全宝刚
联系方式:82649098 quanbaogang@iphy.ac.cn
仪器位置:M楼超净间百级区
主要功能及应用范围:
    飞秒激光三维直写技术可用来加工多维度、跨尺度的复杂三维微纳米光刻胶结构,在光子晶体、人工超材料、光学微纳器件、微机械器件、微流体结构以及生物器件等领域具有广泛的应用。