微加工实验室具有配套齐全的先进微纳加工与表征设备,可为所内外提供各种微纳加工相关的技术服务,加工结构的维度涵盖从零维到三维结构,加工尺度的跨越从几个纳米到几百微米,加工材料的范围包括硅基与III-V组半导体材料、石墨烯与其他碳基材料、介质材料、金属与金属氧化物材料、高分子聚合物材料和生物材料等,加工的器件种类繁多如:场效应管、量子器件、超导器件、磁存储器件、纳米光学器件、单光子与单电子器件、生物器件、传感与探测器件、等离激元器件、新能源器件及仿生器件等各种前瞻性功能器件。

       所内用户:须申请并参加微加工实验室仪器设备独立操作培训(见“申请表格1、2、3),获得资格后可进入超净间预约和独立使用微加工设备开展科研工作。

       所外用户:须根据需要提出微加工服务申请,可先下载“微加工实验室对外加工服务申请(见申请表格4),经实验室确认后回复受理表,然后由相关工作人员安排所需的加工工艺直至完成加工任务。

       微加工实验室所外技术服务联系人:杨海方,电话82649831,E-mail:hfyang@iphy.ac.cn, 也可与仪器设备责任工程师联系(详见网内"仪器设备"部分)。